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製品情報

ピエゾステージ

最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです。
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超音波モータステージ

数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージ。
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フォースセンサ

μN~mNレベルの微小力検出タイプと、100Nクラスの高荷重タイプがあります。
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お知らせ

Event
2016/11/21

光とレーザーの『科学技術フェア』に出展しました。
2016年11月15日(火)~17日(木) 科学技術館

Event
2016/09/13

『JASIS 2016』に出展しました。
(2016年9月7日(水)~9月9日(金)幕張メッセ国際展示場)

Event
2016/05/23

『レーザーEXPO 2016』 に出展しました。
日時 : 2016年 5月18日(水) ~ 20日(金)
場所 : パシフィコ横浜
小間No.: E-1

Event
2016/02/01

『nano tech 2016』 に出展しました。
(2016年1月27日(水)~ 29日(金)、東京ビッグサイト)

News
2015/11/16

『ダイジェスト版 超精密位置決めピエゾステージ』を 発刊しました。
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