超音波モータステージ

超音波モータステージ

数十mmのストローク範囲を20nmの高い分解能で位置制御できる高精度ステージです。
ultrasonic_index.jpg

制御コントローラ

駆動用ドライバとリニアスケール入力回路を内蔵した、超音波モータステージ専用のコントローラです。
tc_bk.jpg

Technical Information

超音波モータステージの機構

us_tech_image2_jp_03.gif

動作原理

us_tech_image1_jp_03.gif

(1)圧電素子をゆっくり伸長させ移動テーブルが前進

(2)圧電素子を急峻に縮めることで摩擦部が滑り移動

→ (1)(2)を繰り返してミリメートルの粗動

(3) 圧電素子にDC的に電圧を印加して目標位置へ高精度に位置決め。

停止後もリニアスケールの信号をフィードバックし位置制御を維持

→PDF(3.0M)